3～20W フェムト秒レーザー JPT-LIT
メーカー名JPT Opto-electronics
- 光源
- ファイバレーザ・ファイバーアンプ
- 超短パルス
- 515nm, 1030nm
JPT-LIT 20は、現在市場に存在するパッシブ空冷式フェムト秒レーザーの中でも、最高クラスの平均出力と高効率を誇る製品のひとつです。産業用途向けに設計されており、高い信頼性を備えたメンテナンスフリーかつプラグアンドプレイ対応のフェムト秒レーザーとして、優れた光学性能を実現しています。
革新的なパッシブ冷却アーキテクチャを採用することで、JPT-LIT 20はパルス幅、ビームポインティング安定性、出力安定性といった重要な光学パラメータにおいて、長期的に優れた安定性を維持します。また、堅牢なメカニカル設計により、過酷な産業環境下でも安定動作を実現。さらに、防塵対策を統合することで、システム全体の信頼性を一層高めています。
| 項目 | JPT-LIT 20 IR | JPT-LIT 20 SH | JPT-LIT 10 | JPT-LIT 3 |
|---|---|---|---|---|
| 中心波長 | 1030 ± 2 nm | 515 ± 1 nm | 1030 ± 2 nm | 1030 ± 2 nm |
| ビーム品質 (M²) | < 1.2 | < 1.2 | < 1.2 | < 1.2 |
| アーマードケーブル長 | 5.5 ± 0.1 m | 5.5 ± 0.1 m | 5.5 ± 0.1 m | 3 ± 0.2 m |
| 平均出力 | >13 W @ 100 kHz >18 W @ 1 MHz (Typ. 20 W @ 1 MHz) |
>9 W @ 100 kHz >4 W @ 1 MHz |
>7 W @ 70 kHz >8 W @ 100 kHz >10 W @ 1 MHz |
>3 W @ 5 MHz |
| 最大パルスエネルギー | >130 µJ | >90 µJ | >100 µJ @ 70 kHz >10 µJ @ 1 MHz |
>2 µJ @ 1 MHz >0.6 µJ @ 5 MHz |
| 繰返し周波数範囲 | 100 kHz – 1.0 MHz Burst mode down to 30 kHz |
100 kHz – 1.0 MHz Burst mode down to 30 kHz |
70 kHz – 1.0 MHz Burst mode down to 30 kHz |
1 – 5 MHz Burst mode down to 1 Hz |
| パルス幅 | 400 fs ~ 4 ps | 400 fs | 400 fs ~ 4 ps | 290 fs ~ 5 ps |
| 冷却方式 | パッシブ空冷 （オプション：水冷プレート／強制空冷ファン） |
パッシブ空冷 （オプション：水冷プレート／強制空冷ファン） |
パッシブ空冷 （オプション：水冷プレート／強制空冷ファン） |
パッシブ空冷 （オプション：水冷プレート／強制空冷ファン） |
| ウォームアップ時間 | < 3 min | < 3 min | < 5 min | < 3 min |
| 動作電圧 | 24 V, 25 A (AC/DC電源付属) |
24 V, 25 A (AC/DC電源付属) |
24 V, 25 A (AC/DC電源付属) |
24 V, 25 A (AC/DC電源付属) |
| 定格消費電力 | 300 W | 300 W | 200 W | 100 W |
| 最大消費電力 | 700 W | 700 W | 700 W | 300 W |
| 外形寸法 (L×W×H) | 482 × 248 × 143 mm | 482 × 248 × 143 mm | 482 × 248 × 143 mm | 301 × 189 × 156 mm |
用途
- 精密微細加工
- ウェハ加工／半導体製造
- 超短パルスアブレーション
ポイント
- パッシブ空冷式の高平均出力フェムト秒レーザー
- 20W IR、20W SH、10W、3Wのラインナップ展開
- ファンレス／水冷レス
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