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窒化ガリウム(GaN)エピウェハ リモートプラズマ化学気相成長法(RPCVD)

  • 窒化ガリウム(GaN)エピウェハ リモートプラズマ化学気相成長法(RPCVD)
  • 窒化ガリウム(GaN)エピウェハ リモートプラズマ化学気相成長法(RPCVD)

メーカー名BLUGLASS

Bluglass社の革新的な成長技術であるリモートプラズマ化学気相成長法(RPCVD)は、より高性能なデバイスとクリーンで低コストな製造方法です。

RPCVDはMOCVDの拡張性と窒素プラズマ源の独自の利点を組み合わせることで、高い性能を実現し、革新的なレーザーダイオード、LED、マイクロLED構造を実現します。

メーカーHP

 

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BLUGLASS社はGaN系のエピウェハや紫外/青色/緑色の半導体レーザ及びLEDチップ、デバイスの製造販売を行っているオーストラリアのASX上場会社です。独自の低温、低水素、リモート プラズマ化学気相成長 (RPCVD) の製造技術により、効率的のフォトニクスデバイスを提供しています。

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