窒化ガリウム(GaN)エピウェハ リモートプラズマ化学気相成長法(RPCVD)
メーカー名BLUGLASS
- 光源
- 半導体レーザ・VCSEL
- LED・SLD・SOA
- エピウェハ
- エピウェハ
- 405~525nm
Bluglass社の革新的な成長技術であるリモートプラズマ化学気相成長法(RPCVD)は、より高性能なデバイスとクリーンで低コストな製造方法です。
RPCVDはMOCVDの拡張性と窒素プラズマ源の独自の利点を組み合わせることで、高い性能を実現し、革新的なレーザーダイオード、LED、マイクロLED構造を実現します。
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